鉄電性PbTiOのディップペンリトグラフィー ((3) ナノドット
Jong Yeog Son1, Young-Han Shin, Sangwoo Ryu
1Department of Materials Science and Engineering, and Division of Advanced Materials Science, Pohang University of Science and Technology, Pohang 790-784, Korea.
Journal of the American Chemical Society
|October 15, 2009
まとめ
ディップペンのナノリトグラフィーで,鉄電鉛チタナート (PTO) のナノドットが37nmほどの大きさで成功しました. これらのナノドットは,特化した基板上で強化された四角性および単一ドメインの表軸成長を示します.
科学分野:
- マテリアルサイエンス 材料科学
- ナノテクノロジー ナノテクノロジー
- 固体物理 固体物理学
背景:
- 鉄電性材料は,高度な電子機器に不可欠です.
- ナノスケールの鉄電構造物の精密な製造は困難です.
- 鉛チタナート (PTO) はよく研究された鉄電性材料です.
研究 の 目的:
- 鉄電気PTOナノドットを製造するためのディップペンナノリトグラフィーを実証するために.
- ナノドットサイズと位置を正確に制御するために.
- 製造されたナノドットの構造特性を特徴付けるために.
主な方法:
- 位置制御ディップペンナノリトグラフィーを利用しました.
- シリコン・ニトリド・カンティレバーを用いて堆積した.
- ニオビウムドーピングされたストロンチウムチタナート (SrTiO3) 基板に製造されたナノドット.
主要な成果:
- 鉄電気PTOナノドットの配列を成功裏に製造しました.
- 約37nmの最小横面寸法を達成しました.
- 観察された単一ドメインの表軸の成長は,最小のドットで1.08の強化された四角性 (c/a比) を示した.
結論:
- ディープペンナノリトグラフィーは,高品質の鉄電気ナノ構造物を作成するための実用的な技術です.
- 製造されたナノドットは,潜在的なアプリケーションのために望ましい構造特性を有しています.
- この方法により,ナノスケールでの鉄電性の特性を精密に設計することができます.
