斜面ナノ柱状構造のアニゾトロピック表面上のアニゾトロピックメソストラクチャのエピタキシアルのような成長

Hirokatsu Miyata1, Wataru Kubo, Akira Sakai

  • 1Frontier Research Center, Canon Inc., 3-30-2 Shimomaruko, Ohta-ku, Tokyo 146-8501, Japan. miyata.hirokatsu@canon.co.jp

まとめ

テトラエダルの無形炭素 (ta-C) フィルムは,メソポラスシリカフィルムの制御された調整を可能にします. ta-Cの傾斜堆積は,アニソトロピックな表面を作り,シリカナノ構造に合わせたメソチャネルの成長を導く.

関連する概念動画