二重層ブロックコポリマーフィルムで自己組み立てられた3次元構造をテンプレート化
A Tavakkoli K G1, K W Gotrik, A F Hannon
1Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA 02139, USA.
Science (New York, N.Y.)
|June 9, 2012
まとめ
研究者は,3Dブロックコポリマー構造を作成するための新しい方法を開発しました. この技術では,テンプレート付きの2層フィルムを使用して,高度なナノスケールアプリケーションのためのマイクロドメインの配置と接続性を正確に制御します.
科学分野:
- マテリアルサイエンス 材料科学
- ポリマー化学のポリマー化学について
- ナノテクノロジー ナノテクノロジー
背景:
- 自己組み立てブロックコポリマー薄膜は,ナノスケールのデバイス製造に不可欠です.
- 現在の方法は,主に平面的なパターンを作成し,3D構造を必要とするアプリケーションを制限します.
- マイクロドメインの制御された3次元の配置を達成することは,依然として課題です.
研究 の 目的:
- ブロックコポリマー薄膜から複雑な3次元 (3D) 多層構造を作成する方法を開発.
- マイクロドメイン配列の幾何学,角度,曲線,接点の制御を実証する.
- 先進的なアプリケーションのための特定の方向でのマイクロドメインのルーティングと接続を可能にします.
主な方法:
- 円筒形状のブロックコポリマーによる2層のフィルムを使用しました.
- マジョリティーブロックに魅力的なブラシで機能化されたポストの配列でテンプレートメソッドを採用しました.
- 構造形成に影響を与えるために,さまざまなテンプレート周期と配置.
主要な成果:
- ブロックコポリマーから様々な3D構造を成功裏に形成しました.
- 結果となるシリンダー配列の制御可能な角度,曲がり,交差点を実証した.
- 必要な方向にマイクロドメインを正確にルーティングし,接続する能力を示しました.
結論:
- テンプレート技術により,ブロックコポリマーフィルムの3Dマイクロドメインパターンを正確に制御できます.
- この方法は,複雑で多層のナノ構造物の製造を容易にする.
- この発見は,ナノスケールデバイスの高度な製造と統合の可能性を広げています.
