極性切り替える上層は,10nm未満のブロックコポリマードメインの指向を可能にします
Christopher M Bates1, Takehiro Seshimo, Michael J Maher
1Department of Chemistry, University of Texas at Austin, Austin, TX 78712, USA.
Science (New York, N.Y.)
|November 10, 2012
まとめ
研究者らは,ブロックコポリマーの自己組み立てを改善するために,新しいポリマートップコートを開発しました. この技術は,先進的な材料と電子機器にとって不可欠なナノスケール機能の正確な制御を可能にします.
科学分野:
- マテリアルサイエンス 材料科学
- ポリマー化学のポリマー化学について
- ナノテクノロジー ナノテクノロジー
背景:
- 高相互作用パラメータ (χ) は,ブロックコポリマー (BCP) が10ナノメートル未満の特徴に自己組み立てられるために不可欠です.
- 高χのBCPにおける異なった界面エネルギーは,望ましい薄膜ドメイン方向の形成を妨げます.
研究 の 目的:
- 制御されたBCP機能の整合を達成するための方法を開発する.
- BCP薄膜におけるインターフェイス力に関連する課題を克服するために.
主な方法:
- マレインアンヒドリドと他の2つの成分を使用して,設計および合成されたポリマートップコート.
- リング開いた酸塩の形状の水溶液からスピンコーティングを介して上層塗料を塗布しました.
- アンヒドリドをリフォームするために熱アニリングを使用し,BCPアラインメントのための中性層を作成しました.
主要な成果:
- 新規のトップコートアプローチを使用して,BCPの特徴の成功アライメントが実証されました.
- BCPで15nmの線幅を持つ垂直の特徴を達成した (ポリ・スチレン・ブロック・トリメチルシリル・スチレン・ブロック・スチレン).
- 9nmの線幅を持つ垂直の特徴が,ポリ・トリメチル・シリル・ステリン・ブロック・ラクチドのBCPで得られた.
結論:
- 開発されたトップコート戦略は,BCPのインターフェイス力を効果的に軽減します.
- この方法により,BCP薄膜形態の正確な制御が可能になり,単一の熱冷却の限界を上回ります.
- このテクニックは,10ナノメートル未満の特性を生み出すために様々なBCPシステムに適用できます.
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