柔軟な電子機器のための電子積金された単結晶ゴールド・フォイルのエピタキシアル・リフトオフ
Naveen K Mahenderkar1, Qingzhi Chen2, Ying-Chau Liu2
1Department of Materials Science and Engineering and Graduate Center for Materials Research, Missouri University of Science and Technology, Rolla, MO 65409, USA.
Science (New York, N.Y.)
|March 18, 2017
まとめ
研究者はシリコンテンプレートを用いて 柔軟で透明な単結晶のゴールド・フォイルを 作るための費用対効果の高い方法を開発しました 耐久性や伝導性が高く 高度な電子機器の応用が可能です
科学分野:
- 材料科学
- ナノテクノロジー
- 電気化学
背景:
- 柔軟で透明な電子機器には 強い導電性材料が必要です
- 現存する薄型金属の製造方法は高価で複雑である.
- 単結晶金属フォイルは,多結晶フォイルと比較して優れた電子特性を提供しています.
研究 の 目的:
- 単一結晶の柔軟で透明なゴールドフォイルをエピタキシアルで持ち上げるためのシンプルで安価な手順を導入する.
- フレキシブルな電子機器に 黄金のフィルムが使える可能性を 証明するためです
- 半導体の特性を調べるため
主な方法:
- シリコンを模板として使って
- 光電気化学的酸化を用いて,二酸化シリコンの犠牲層を横にエッチする.
- 銅酸化物や亜鉛酸化物などの半導体の 黄金製のフィルムに付着する.
主要な成果:
- 厚さ28ナノメートルのシングルクリスタルゴールド・フォイルを生産し,シート抵抗は1平方あたり7オームでした.
- ゴールド・フォイルは4000回の曲折サイクルを経て優れた伝導性を維持した (抵抗が4%増加した).
- エピタキシアルで成長した銅酸化物は,ほぼ理想的なダイオード品質因子 (n=1.6) を示し,亜鉛酸化物のナノワイヤは500回曲げられた後も無傷のままである.
結論:
- 開発された方法は,高品質の柔軟な単結晶ゴールド・フォイルへのスケーラブルで経済的経路を提供します.
- これらのフォイルは,柔軟な有機発光ダイオードやその他の高度な電子機器の用途に適しています.
- 柔らかいゴールド・フォイル上に半導体のエピタキシアル成長により,高性能な柔らかい電子部品の製造が可能になります.
