マイクロ・オートホーナル・フラックスゲート・センサ アモルフォス・コゾルニブ・フィルム

科学分野:

• 材料科学
• 電気工学
• センサー技術

背景:

• オートゴーナルフルスゲートセンサーは磁場測定に不可欠です.
• センサーの小型化は高度なアプリケーションに不可欠です.
• アモルフな磁気フィルムは,センサー製造にユニークな特性を提供します.

研究 の 目的:

• アモルフな CoZrNb フィルムを用いたマイクロ・オートゴーナル・フルスゲート・センサを製造する.
• 製造プロセスとセンサーの性能を最適化する
• 地球の磁場測定のためのセンサーの特徴を調査します.

主な方法:

• アモルフな CoZrNb フィルムを使用したマイクロセンサ (1.5 mm × 0.5 mm) の製造.
• スプッタリングと堆積のパラメータの最適化 (スプッタリングの角度,基板の回転).
• Ta粘着層とO2プラズマ表面処理の適用
• 300°Cの真空冷却で,磁場が500oEになっている.
• 動作頻度と導体幅の影響を定量的に調査する.

主要な成果:

• マイクロ・オートゴーナル・フルスゲート・センサを 製造した.
• ステップカバーとデラミネーションなどの課題を克服しました.
• 磁気柔らかさとアニソトロピーを高め,真空冷却によって最適な性能を達成します.
• 非常に低い強制力 (0.1 Oe) と安定した無形構造が得られる.
• 最大0. 98mV/ Oe (9. 8V/ T) の感度が記録された.

結論:

• ミニチュア化された直角フルスゲートセンサーは,無形なCoZrNbフィルムを使用して製造することができます.
• 開発されたセンサーは,マルチチップパッケージに適しています.
• これらのセンサーは地球の磁場を測定する可能性を 示しています