高速鉄道のインターコネクトと高周波回路の統合付加製造

Dongqiao Bai¹, Jin Huang¹, Hongxiao Gong¹

¹State Key Laboratory of Electromechanical Integrated Manufacturing of High-Performance Electronic Equipments, Xidian University, Xi'an 710071, China.

Micromachines

|August 28, 2025

まとめ

電気水力学 (EHD) 印刷は,空洞のない透かしガラス (TGV) と細かい痕跡を作成するために,マスクのない高解像度沈殿を可能にします. この高度な EHD プラットフォームは高性能の透明な RF デバイスをガラスで製造します

科学分野:

材料科学
電気工学
流体力学

背景:

エレクトロヒドロダイナミック (EHD) 印刷は,様々なインク粘度でマスクのない高解像度沈殿を提供します.
高面比の透き通ったガラスバイア (TGV) と超細度のドロップオンデマンド (DOD) ラインプリントを統合すると,矛盾する要求が生じます.

研究の目的:

単一の EHD 印刷プラットフォームを開発し,空白のないTGV 充填と超細線印刷の両方を可能にします.
EHDの印刷パラメータを最適化するための物理的アプローチを確立する.

主な方法:

静電場分析と一時的なレベルセットシミュレーションを組み合わせて,無次元レジームマップを作成します.
高速画像と表面プロフィロメトリを用いたシミュレーション予測の検証
安定したコーンジェット状態で動作する.

主要な成果:

200 μm × 1.52 mmのTGVの完全な空隙のない充填を達成しました.
単一のプリントパスで連続した10μm幅の痕跡を示した.
優れたRF性能 (例えば,-14.2GHzで -18dB反射係数,ピーク増益8dB) を有する透明なKu帯の基板に統合された波導体アンテナ.

結論:

開発された EHD プラットフォームは,TGV 充填と細線印刷の相反する要求をうまくバランスとします.
この物理的に駆動されたオールインワン EHD アプローチは高性能でガラスに統合されたRFデバイスと透明な電子機器へのスケーラブルな経路を提供します.

キーワード:

電気水力学 (EHD) 印刷ガラスに組み込まれたRFアンテナ透かしガラス (TGV) による充填

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