酸化物閉じ込め構造を用いたモノリシック集積型マルチ波長グレーティング結合表面放射レーザーアレイ

科学分野:

• 光電子工学
• 半導体レーザー
• 集積フォトニクス

背景:

• モノリシック集積型マルチ波長表面放射レーザーアレイ（MWSELAs）は、さまざまなアプリケーションにとって重要です。
• 既存の製造方法は複雑でコストがかかる場合があります。

研究 の 目的:

• モノリシック集積型MWSELAsの新規かつ簡略化された製造方法を提案し、実証すること。
• 正確な波長制御と安定した単一モード動作を実現すること。

主な方法:

• 6波長グレーティング結合表面放射レーザー（GCSEL）アレイの製造。
• 同一のエピタキシャル構造内の表面グレーティング周期を調整することによる発光波長の調整。
• デバイス性能の実験的検証。

主要な成果:

• 平均間隔1.6 nmで正確な波長制御を実現しました。
• サイドモード抑制比> 30 dBで優れた単一モード動作を実証しました。
• 約1.5 mAの低いしきい値電流を観測しました。

結論:

• 提案された方法は、モノリシック集積型MWSELAsを実現するための実行可能な経路を提供します。
• 簡略化された製造プロセスと優れた性能特性により、コスト効率の高い製造に適しています。
• 低消費電力、安定した単一モード性能、およびウェーハレベルの互換性が利点として含まれます。