自由形状瞳孔における高速マイクロミラー選択および角度設定アルゴリズム：液浸リソグラフィ装置用照明システム

科学分野:

• 光学工学
• 半導体製造

背景:

• 液浸リソグラフィ装置における照明瞳孔に対する厳格な性能要件は、リソグラフィ解像度の向上によって推進されています。
• エネルギーバランスと偏光特性は、特に40nm未満の技術ノードにとって、高度なリソグラフィにとって重要です。
• マイクロミラーアレイ（MMA）は、瞳孔特性の角度分布を調整するために使用されます。

研究 の 目的:

• 自由形状瞳孔特性を維持するためのマイクロミラー選択および角度設定アルゴリズムを提案すること。
• 液浸リソグラフィの非偏光状態と偏光状態の両方でエネルギーバランスを確保すること。
• 工学用途の計算速度を向上させること。

主な方法:

• マイクロミラー選択および角度設定アルゴリズムを開発しました。
• シミュレーションのために自由形状瞳孔照明光学モデルを利用しました。
• 非偏光状態と偏光状態の両方でアルゴリズムの精度を検証しました。

主要な成果:

• 非偏光状態と偏光状態の両方でエネルギーバランスを0.08%に低減し、大幅な改善を達成しました。
• 自由形状瞳孔の主要特性を維持するアルゴリズムの有効性を実証しました。
• 計算速度を600秒から0.1秒に短縮し、計算時間を短縮しました。

結論:

• 提案されたアルゴリズムは、液浸リソグラフィにおいてエネルギーバランスを効果的に確保し、自由形状瞳孔特性を維持します。
• アルゴリズムの計算効率により、工学用途に適しています。
• この研究は、高解像度半導体リソグラフィの進歩に貢献します。