高Q値・コンパクトな薄膜ニオブ酸リチウム導波路型ファブリ・ペローマイクロ共振器

科学分野:

• 集積フォトニクス
• 材料科学

背景:

• 薄膜ニオブ酸リチウム（TFLN）は、非線形光学、電気光学、ピエゾ光学力学を可能にする集積フォトニクスにとって重要です。
• 高品質なフォトニックマイクロ共振器は、TFLNデバイスにおける光と物質の相互作用を強化するために不可欠です。

研究 の 目的:

• 最適化された特性を持つ新しいTFLNファブリ・ペローマイクロ共振器を設計・製造すること。
• これらの共振器の高周波変調機能を示すこと。

主な方法:

• テーパー状フォトニック結晶ミラーと直線導波路セクションを用いたTFLNファブリ・ペローマイクロ共振器の製造。
• 電気光学制御のためのオンチップ電極の統合。

主要な成果:

• 1,530 nmで6 × 10^5の高Q値（品質係数）を達成しました。
• 長さ100 µmのコンパクトな共振器を製造しました。
• 高周波ピエゾ光学力学変調を実証しました。

結論:

• 設計されたTFLNファブリ・ペローマイクロ共振器は、高度な集積フォトニックアプリケーションのための有望なプラットフォームを提供します。
• これらの共振器は、TFLN上で高性能フォトニックデバイスを開発するための主要コンポーネントとして機能します。