Deviprasath Palani1, Florian Hasse1, Philip Kiefer1

  • 1Physikalisches Institut, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 79104 Freiburg, Germany.

PubMed
まとめ

イオンコヒーレンスに対するアルゴンイオンビームエッチングのin situ処理は複雑な影響を示した。電気的ノイズを低減し、トラップイオン量子システムを改善するには、スパッタリングの最適化が鍵となる。