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Updated: Jan 17, 2026

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導電性シート近似を用いた半導体薄膜のテラヘルツ磁気光学スペクトロスコピックエリプソメトリのモデリング

Akihiro Okamoto, Masaya Nagai, Masaaki Ashida

    Optics letters
    |January 15, 2026
    PubMed
    まとめ

    テラヘルツ磁気光学エリプソメトリを用いた異方性半導体薄膜の解析のための単純なモデルを開発しました。この手法は、薄膜からシート導電率スペクトルを正確に抽出し、非破壊的な特性評価技術を提供します。

    キーワード:
    テラヘルツ磁気光学エリプソメトリ半導体薄膜導電性シート近似エリプソメトリシート導電率非破壊的特性評価

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