マイクロストレスサポート強化型2プレートシーリング 絶対試験 Φ800mmインターフェロメーターの絶対試験

科学分野:

• 光学工学は,光学工学である.
• メトロロジー・メトロロジー
• 精度の高い測定法です.

背景:

• 大口径光学要素の製造と試験は,大きな課題を伴う.
• 大開口光学に対する需要は,天文学,高性能レーザー,航空宇宙の分野で増加しています.

研究 の 目的:

• 超大孔径デジタルレーザー平面インターフェロメトリック試験技術を提案する.
• 大型平面光学要素の高精度試験を可能にする.

主な方法:

• 2プレート切断の絶対相互テストとマイクロストレスのサポート技術を組み合わせています.
• デジタルレーザーインターフェロメトリーを使用して,平面元素のテストを行います.

主要な成果:

• 0.0923λのPVと0.0114λのRMSを持つF800mmの平面要素を成功裏にテストしました.
• テスト速度が高速で,高解像度で,正確なアラインメントが実証されています.
• シミュレーションとZYGOインターフェロメーターの比較により,この方法の有効性が確認されました.

結論:

• 提案された技術は,大開口光学要素の高精度試験のための新しいアプローチを提供します.
• 実験テストで最小の誤差と高い精度を達成しました.
• この方法は,精密な光学コンポーネントを必要とする要求の高いアプリケーションに適しています.