メソポラスなGaN分布のブラッグ反射器と発光ダイオードを,転送印刷による共統合

科学分野:

• オプトエレクトロニクス (光電子機器)
• マテリアルサイエンス 材料科学
• ナノテクノロジー ナノテクノロジー

背景:

• ニトリウムガリウム (GaN) ベースのフォトニックデバイスは,ユニークな光学特性を提供します.
• 分散ブラッグ反射器 (DBR) は,光学腔の形成に不可欠です.
• GaN DBRsを他の基板と統合することは依然として課題です.

研究 の 目的:

• GaNベースのDBRの転送プリントを実証します.
• 光学共振腔やアクティブ光電子装置を製造する.
• 製造されたデバイスの光学性能を特徴付けるために.

主な方法:

• メソポラスなGaN DBR膜の転送プリント.
• シリコンのマルチモード光学共鳴孔の製造.
• GaNベースの発光ダイオードとGaN DBRの統合.
• 反射率と放射スペクトルを含む光学特性.

主要な成果:

• 90%の反射率と100μmの寸法を持つGaN DBRを成功裏に転送しました.
• 製造されたマルチモード光学共鳴孔は,Si.の450nmを中心に位置しています.
• 14nmピークシフトのアクティブデバイスからの実証されたファブリー-ペロット媒介の放射.
• 小信号調節で136MHz (-6 dB) の光学帯域幅を達成しました.

結論:

• 転送プリントは,GaN DBRを様々な基板と統合するための有効な方法です.
• メソポラスGaN DBRは,複雑な光子装置の効果的な構成要素として機能します.
• 製造されたデバイスは,光電子アプリケーションの有望な性能を示しています.