SEMのためのドデカエドロン型MCP検出器の開発は,完全なエネルギー範囲と固い角度電子検出に向けて行われます

科学分野:

• マテリアルサイエンス 材料科学
• 表面科学とは,地表科学である.
• 電子顕微鏡による電子顕微鏡

背景:

• 標準スキャニング電子顕微鏡 (SEM) は,しばしば限られた方向性電子情報を捕捉します.
• 電子放出角度を分析することは,表面の地形と物質組成を理解するために非常に重要です.

研究 の 目的:

• SEMのための多方向電子検出を可能にする新しい十二面体検出器の開発と評価.
• バイアスグリッドを使用して,逆分散電子 (BSE) と二次電子 (SE) を区別する.
• 検知器の性能を評価するために,様々なサンプル幾何学のために,放射角度依存性を分析します.

主な方法:

• 側面にマイクロチャネルプレート (MCP) を搭載した十二面型検出器の製造.
• 電子差別のためのバイアスグリッドの統合 (BSE/SE).
• 複数の検出角度 (トップ0,アップ1,アップ2,ダウン6) を使用して,多様な標本 (Cuプレート,Cu-Alエウテクティック,ステンレス鋼球) のイメージング.

主要な成果:

• 検出器は,上下軌道を含む様々な方向からの電子を成功裏に捕獲しました.
• SEM画像は,強化された表面波紋 (Cuプレート) を明らかにし,特定の角度でインターフェイス領域 (Cu-Al) を強調しました.
• 下向きのBSE検出 (Down6) は,三次元サンプル分析 (ステンレス鋼球) に有効であることが示されました.

結論:

• 十二面検出器は,電子の軌道を歪めることなく,電子の放出角度依存性の包括的な分析を可能にします.
• このマルチビューのアプローチは,信号処理を簡素化し,放射された電子の詳細な方向およびエネルギー解析解析を容易にします.
• 検出器は,複雑な表面トポグラフィとマイクロ構造を特徴付けるためのSEM能力を強化します.