多波長デジタルホログラフィーの粗い表面の測定精度をモデリングする

科学分野:

• オプティカル・メトロロジー
• 表面計測学について
• ホログラフィー ホログラフィー

背景:

• 現代の工業生産には,高精度,全フィールドの表面測定が必要です.
• 多波長デジタルホログラフィー (MWDH) は,これらの測定のための重要な技術です.
• 粗な表面に対する既存のMWDH精度評価には,包括的な理論モデルがない.

研究 の 目的:

• 粗い表面に特化したMWDHの理論的精度モデルを開発する.
• decorrelation ノイズ,取得ノイズ,コヒーレント ストレイライト ノイズをモデルに組み込む.
• 完全なフィールドノイズとオブジェクトの測定可能性のより有意義な評価を提供するために.

主な方法:

• 粗い表面のための新しいMWDH精度モデルを提案しました.
• デコアレーションノイズとアキシションノイズの分析を含み,一貫した流浪光のノイズを導入しました.
• 粗い表面での実験的な測定を通じてモデルを検証しました.

主要な成果:

• 開発されたモデルは,粗な表面のMWDH測定精度を正確に評価します.
• このモデルは,不均質な分散下でのフルフィールドノイズのよりよい理解を提供します.
• 実験的検証により,モデルの有効性が確認されました.

結論:

• 提案されたMWDH精度モデルは,粗な表面の測定を評価するための理論的枠組みを提供します.
• これは,MWDHシステムにおける測定精度とオブジェクトの測定可能性の評価を強化します.
• この研究は,産業用表面計測学におけるMWDHの応用を進めています.