分散のターニングポイント強化フィゾーインターフェロメーターは,マイクロシフト感知のためのマイクロシフト感知です

科学分野:

• オプティカル・メトロロジー
• インターフェロメトリー (インターフェロメトリー)
• 精度の高い測定法です.

背景:

• Fizeauインターフェロメーターは,強度と安定性を提供しますが,マイクロシフト検出における空洞の長さの増加により,感度が低下します.
• 既存のフィゾーインターフェロメーターの設計では,穴の長さが増加するにつれて,微小移動の正確な測定のための感度が制限されています.

研究 の 目的:

• 微小移動の検出のためのフィゾーインターフェロメーターの感度を高めるために.
• 改善され,調整可能な感度およびダイナミックレンジを持つフィゾーインターフェロメーターを開発する.

主な方法:

• 散乱ターニングポイント (DTP) を提唱し,ビーム分割器としてクォーツ板を使用したフィゾー干渉計を強化しました.
• ビーム分割器の反射コーティングと試験表面の間の空洞の長さを調整することによってDTPを達成しました.
• DTP.からの偏差時に感度減弱のためにクォーツのゼロ分散点を活用した.

主要な成果:

• DTP.の近くで動作する際,マイクロシフトに対する超高感度を実現しました.
• 56 nm の波長範囲で 0.333 nm/nm の高い常時感度を達成しました.
• DTPの位置を調節することによって,動的範囲を調整することが示されています.

結論:

• DTP強化のフィゾーインターフェロメーターは,マイクロシフト検出の感度を大幅に改善します.
• 提案された方法は,高精度測定のための安定した,偏振独立の,調整可能なソリューションを提供します.
• この強化されたFizeauインターフェローメーターは,様々なマイクロシフトセンシングアプリケーションのための汎用性のあるプラットフォームを提供します.