ランダム・フェーズシフトインターフェロメトリのための多次元のテイラー展開を用いた空間時間的に分離された反復アルゴリズム,有限帯域幅の照明によるランダム・フェーズシフトインターフェロメトリ

科学分野:

• オプティカルメトロロジー (光学計量学)
• インターフェロメトリー (インターフェロメトリー)
• 精度の高い測定法です.

背景:

• フェーズシフトインターフェロメトリー (PSI) は,超滑らかな光学コンポーネントの測定に不可欠です.
• 有限帯域幅の光源は,ランダムなフェーズシフトエラーと時空調節の変動を導入し,精度を低下させます.
• 既存のアルゴリズムは,これらの複雑なエラーと闘っています.

研究 の 目的:

• PSIで有限帯域幅の条件下での高精度フェーズリトリーチャーのための新しいアルゴリズムを開発する.
• 空間時間調節変数とランダムな相エラーの処理における既存のアルゴリズムの限界を克服するために.

主な方法:

• 空間時間的に解き放たれた反復アルゴリズム (SDIA) を提案した.
• 多次元のテイラー膨張を用いて,時空的に変化する変調幅の空間分離を行いました.
• 時間依存変数と空間依存変数の段階的な分離を活用した.
• 線形方程式の構築のための最小二乗の交互繰り返しを適用した.

主要な成果:

• シミュレーションと実験により,アルゴリズムの実行可能性と高精度が確認されました.
• 平面ミラーでは,1 nm (PV) 未満と0.1 nm (RMS) 未満の回収残留エラーを達成しました.
• ランダムなフェーズシフトエラーとモジュレーション変数の効果的な処理が実証されています.

結論:

• SDIAは,ランダムなフェーズシフトエラーと空間時間的に結合された調節変数に効果的に対処します.
• これは,有限帯域幅の光源を用いたPSIにおけるフェーズリトリーバルの新しいアプローチを表しています.
• このアルゴリズムは,超滑らかな光学部品の測定精度に大きな改善をもたらします.