亜波長格子シリコン・シリコン・ニトリド間の層結合器 商業的な鋳造所のシリコンフォトニクスにおけるシリコン・ニトリド間の層結合器
Optics express
|February 20, 2026
まとめ
研究者は,サブ波長格子 (SWG) 波導体を使用して,シリコンフォトニクスのコンパクトなインターレイヤカップラーを開発しました. この技術革新により,光学集積回路 (PIC) のシリコンと化シリコン層間の効率的な光輸送が可能になります.
科学分野:
- フォトニクスと光学工学
- 材料科学と工学 材料科学と工学とは
- 集積回路の設計について
背景:
- シリコンフォトニクスプラットフォームは,大規模な光子集積回路 (PIC) に不可欠です.
- シリコン・ニトリドは,超低損失装置のためのシリコンフォトニクスに統合されており,効率的な層間結合を必要とする.
- 既存のインターレイヤカップラーには,コンパクト性と性能に関する課題があります.
研究 の 目的:
- シリコンとシリコンニトリド層の間の効率的な光輸送のためのコンパクトとブロードバンドのインターレイヤカップラーを設計する.
- カップラー設計のためのサブ波長格子 (SWG) 波導体の調節性特性を活用するために.
- シリコンフォトニクスにおけるSWGベースの層間移行の実現可能性を実証する.
主な方法:
- 調節可能な屈折率とサブ波長格子 (SWG) 波導体の分散特性を利用する.
- 層間結合機構の分析モデリングとシミュレーション.
- GlobalFoundriesの45SPCLOプロセスを用いて,層間移行の実験的な実証.
主要な成果:
- SWG波導体に基づくコンパクトとブロードバンドのインターレイヤカップラーの成功した設計.
- シミュレーションによる分析モデルの検証.
- インターレイヤ移行の実験的概念実証デモ.
結論:
- 亜波長格子 (SWG) 波導体は,シリコンフォトニクスにおけるコンパクトで効率的な層間結合のための実行可能な解決策を提供します.
- 開発された結合器は,シリコンとナトリウムシリコンの層間のシームレスな光の輸送を容易にする.
- この研究は,大規模な高性能光子集積回路 (PIC) の開発を進めています.
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