整合的なシフト・ローテーション法による絶対平面試験で,ヤウ・アングルのモニタリングを行う

科学分野:

• メトロロジー・メトロロジー
• 光学工学は,光学工学である.
• 表面計測学について

背景:

• 平面の正確な絶対的な測定は,科学や産業の様々な用途において極めて重要です.
• 既存の方法は,しばしば複雑なセットアップや冗長な手順を伴う.

研究 の 目的:

• 絶対表面測定のために,角モニタリング (CSR-YAM) による新しい一貫したシフト・ローテーション方法の提案と検証.
• 理論上の誤りなくピクセルレベルの精度を実現できる表面再構築システムを開発する.

主な方法:

• CSR-YAMメソッドは,角モニタリングのための1つの補助ミラーを持つ単純な構成を使用しています.
• 移転回転差のマップと相対的なゆらぎ角は,表面の再構築に使用されます.
• 高次元の表面回復には効率的な反復ソルバーが使用されます.

主要な成果:

• シミュレーションにより,CSR-YAMメソッドの高い精度,効率,および強度が確認されました.
• 実験結果は,サブナノメートルのRMSトランスミッションフラットを使用した直接測定と優れた一致を示しています.

結論:

• CSR-YAMメソッドは,絶対平面計測学のシンプルで正確なアプローチを提供します.
• 開発されたシステムは,高精度と効率でピクセルレベルの表面回復を達成します.