コンパクト高NA顕微鏡のためのマルチNAメタルレンズアレイ
Optics letters
|February 27, 2026
まとめ
コンパクト顕微鏡用のシリコンリッチ窒化物メタルレンズアレイを開発し、高度なバイオイメージングアプリケーションのために単一チップに複数の高開口数（NA）を統合しました。
背景:
- コンパクト顕微鏡には、高解像度を実現できる高度な光学コンポーネントが必要です。
- メタルレンズは、単一表面に光学機能を統合することで小型化の可能性を提供します。
- 単一メタルレンズプラットフォームで複数の開口数（NA）を達成することは、多用途なイメージングに不可欠です。
結論:
- 開発されたSRNメタルレンズアレイは、コンパクトなマルチNA顕微鏡プラットフォームを可能にします。
- ウェーハスケールでの製造プロセスは、高度なバイオイメージングシステム用の高NAモジュールの統合をサポートします。
- この技術は、生物学的研究のための小型化された高性能光学システムの開発を進歩させます。
