Abstract:
光学的な欠陥検査は、本質的に回折による制約を受けるほか、反射電場の振幅ではなく光学的位相を乱す欠陥に対して、強度ベースの手法では応答が弱いという制約があります。本稿では、位相に感度を持ち、再構成された位相信号に誘発される対称性の破れを通じて欠陥を特定する、構造照明位相微分（SIPD）法を提案します。コヒーレントな干渉縞照明を用いることで、高空間周波数の欠陥情報を光学パスバンド内にシフトさせ、位相シフトシーケンスのフーリエ解析によって、2つの非対称にフィルタリングされたチャネル間の差に等しい位相を持つ複素電場を導出します。この位相差は、欠陥のない領域では緩やかに滑らかに変化しますが、局所的な欠陥が存在すると急峻なアノマリーが生じ、これが連続的な位相微分によって選択的に強調されます。532 nmの波長でNA 0.4の対物レンズを用いた結果、レイリー限界を大幅に下回る100 nmまでの微小な欠陥を、従来の明視野照明よりも高い信号対雑音比で局在化することができました。本手法は、欠陥検出および品質管理のための実用的かつ高感度な経路を提供します。
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