在纳米晶中进行订购和自我组织
1Department of Electrical and Computer Engineering, University of Rochester, New York 14618, USA.
Nature
|October 3, 2000
概括
研究人员开发了一种在二氧化中自我组织的纳米晶体的方法. 该技术控制晶体形状和方向,对于先进的微电子和量子点应用至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 固态物理 固态物理
背景情况:
- 有组织的纳米晶体的自发形成发生在半导体中.
- 在二氧化 (SiO2) 中制造大小控制的纳米晶体 (Si NC) 对微电子至关重要.
- 以前的方法缺乏对SiNC形状和结晶学方向的控制.
研究的目的:
- 为了实现SiNCs的自我组织,控制大小,形状和结晶学方向.
- 为了克服无形SiO2和不同的热膨胀系数所带来的挑战.
- 为了使SiNCs可用于微电子应用的可重复制造.
主要方法:
- 纳米厚的无形层在SiO2层之间进行固相结晶.
- 利用无形和SiO2接口的固有特性.
- 纳米晶体形成,形状和方向的表征.
主要成果:
- 超过80安格斯特罗姆的SiNCs自组织成形晶体.
- 沿着 (111) 晶体学方向定向的晶体.
- 由于控制的形状和方向,观察到狭窄的光发光,与同位素粒子的广泛辐射形成鲜明对比.
结论:
- 这项研究展示了一种无面具,可重复的技术,用于制造面向SiNCs.
- 控制的晶体形状和方向增强光发光特性.
- 这些发现支持开发用于微电子和量子点设备的先进Si纳米制造技术.
