Emmanuel Delamarche1, Matthias Geissler, Heiko Wolf
1IBM Research, Zurich Research Laboratory, 8803 Rüschlikon, Switzerland. emd@zurich.ibm.com
微接触式打印alkaneethiols在黄金或铜上创建自组装单层,保护表面免受蚀刻. 这种技术提供了一种多用途的光刻方法,可以适应负和正图案处理过程.
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