一种高效的两光子生成的光酸,应用于正色彩的3D微型制造
Wenhui Zhou1, Stephen M Kuebler, Kevin L Braun
1Department of Chemistry, Optical Sciences Center, University of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA.
Science (New York, N.Y.)
|May 11, 2002
概括
合成了一种新的光酸发生器,以高效地激活两个光子. 这种先进的材料可以实现低强度激光聚合,用于制造3D微观结构.
科学领域:
- 有机化学 有机化学
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 摄影化学的使用.
背景情况:
- 光酸生成器 (PAG) 对于光刻法和聚合物合成至关重要.
- 传统的PAG通常需要高强度紫外线 (UV) 光来激活.
- 开发可通过低能近红外 (NIR) 光激活的PAG对于先进的应用是可取的.
研究的目的:
- 为了合成和描述一种新的两光子可激活光酸发生器.
- 为了评估其在酸生成和聚合化启动方面的效率.
- 为了证明其在制造三维 (3D) 微观结构中的实用性.
主要方法:
- 一个bis[(diarylamino) styryl]核与硫部分的合成.
- 测量两个光子吸收截面 (delta).
- 确定酸生成 (phiH+) 的量子产量.
- 在NIR激光照射下证明了环氧化物聚合的启动.
- 使用化学放大电阻制造3D微通道结构.
主要成果:
- 合成的光酸发生器具有很大的两光子吸收截面 (delta = 690 x 10−50) cm−4 s/光子).
- 它证明了酸生成的高量子产量 (phiH+ = 0.5).
- 与传统的紫外线敏感启动器相比,环氧化聚合物的启动发生在明显较低的激光强度下.
- 实现了成功制造3D微通道结构.
结论:
- 这种新型的两光子可激活光酸发生器对于NIR激光诱导的酸产生非常高效.
- 它的低强度激活能力使其适合用于先进的光刻法和3D微型制造.
- 这种材料为高分辨率图案设计提供了传统光酸发生器的有希望的替代品.
