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自行调整的,垂直通道的,聚合物场效应晶体管.

Natalie Stutzmann1, Richard H Friend, Henning Sirringhaus

  • 1Cavendish Laboratory, University of Cambridge, Madingley Road, Cambridge CB3 0HE, UK.

Science (New York, N.Y.)
|March 22, 2003
PubMed
概括

固态印使灵活基板上的高性能聚合物晶体管电路的亚微米图案成为可能. 这种技术精确地定义了先进的灵活电子产品的关键特征.

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科学领域:

  • 材料科学 材料科学 材料科学
  • 电气工程 电气工程
  • 纳米技术 纳米技术

背景情况:

  • 在柔性基板上制造高性能合聚合物晶体管需要先进的模式.
  • 微米分辨率对于定义这些设备中的关键特征至关重要.

研究的目的:

  • 为了利用固态印来创建具有亚微米关键特征的聚合物场效应晶体管.
  • 为了证明印的能力,在不涂抹的情况下微切割聚合物多层结构.

主要方法:

  • 固态印被用来生产聚合物场效应晶体管.
  • 垂直通道晶体管是在柔性聚乙烯二甲基板上制造的.
  • 用浮雕槽的喷墨印刷被用于自我调整的门电极制造.

主要成果:

  • 实现了微米以下的关键特征,特别是0.7至0.9微米的通道长度.
  • 印允许在多层聚合物结构中对垂直侧墙进行受控的微切割.
  • 自行调整的门电极通过以表面能量模式为指导的喷墨打印来最大限度地降低重叠电容.

结论:

  • 固态印是一种可行的技术,用于在柔性基板上制造具有亚微米分辨率的聚合物场效应晶体管.
  • 该方法允许精确定义关键设备尺寸和高效的门电极对齐.
  • 这种方法促进了高性能灵活电子产品的制造.