一种可光固的聚二甲基素化学物质,设计用于纳米级的软刻板成型和打印

Kyung M Choi1, John A Rogers

  • 1Bell Laboratories, Lucent Technologies, Murray Hill, New Jersey 07974, USA.

概括

化学修饰的聚 ((二甲基西洛) 提高了软光刻的纳米图案分辨率. 这种新材料克服了当前弹性体的局限性,用于电子领域的先进纳米制造.

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