在超临界的基于CO2的"干燥"化学机械平面化工艺中去除Cu(0) 的蚀刻溶液,用于设备制造
Carol A Bessel1, Ginger M Denison, Joseph M DeSimone
1Department of Chemistry, University of North Carolina at Chapel Hill, Chapel Hill, North Carolina 27599, USA.
Journal of the American Chemical Society
|April 24, 2003
概括
研究人员探索了凝聚二氧化碳 (CO2) 作为微电子制造的环保替代品. 这项研究研究了CO2中的铜氧化和化,为更绿色的化学机械平面化 (CMP) 过程铺平了道路.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
- 微电子 制造业 制造业
背景情况:
- 微电子行业需要先进的技术来制造越来越复杂的芯片,具有0.25微米以下的互连.
- 目前的基于水的化学机械平面化 (CMP) 方法带来了重大的技术和环境挑战.
- 凝结的二氧化碳 (CO2) 作为一种潜在的"干"蚀刻介质,具有独特的特性,解决了传统CMP溶剂的局限性.
研究的目的:
- 调查使用凝结CO2作为微电子中的化学机械平面化 (CMP) 溶剂的可行性.
- 探索液态和超临界CO2环境中的固体铜金属的化学反应,特别是氧化和化.
- 在基于二氧化碳的CMP系统中确定适合于促进铜加工的化学剂.
主要方法:
- 研究了固体铜金属在液体和超临界CO2中的氧化.
- 通过在凝结的CO2中使用β-二二基化剂检查了铜离子的化.
- 使用乙烯过氧化碳酸盐作为氧化剂与合剂一起使用.
主要成果:
- 成功地证明了固体铜在液体和超临界CO2中的氧化.
- 在凝结CO2介质中实现铜种的化.
- 验证了乙烯过氧化碳酸盐和β-二甲在CO2中铜加工的潜力.
结论:
- 凝结的二氧化碳是CMP过程中铜氧化和化的一种可行的介质.
- 使用乙烯过氧化碳酸盐和β-二甲使得在CO2中能够有效地改变铜表面.
- 这项研究支持开发用于先进微电子制造的环保",干"CMP替代品.
相关概念视频
01:17Precipitation and Co-precipitation
Precipitation and coprecipitation methods can be used to separate a mixture of ions in a solution. In qualitative inorganic analysis, ions that form sparingly soluble precipitates with the same reagent are separated based on the differences in solubility products. For example, consider the separation of Cu(II) and Fe(II) ions by precipitation as insoluble sulfides. First, copper(II) sulfide is precipitated by the addition of acidic H2S, where the dissociation of H2S is suppressed. Adding H2S...
01:06Coagulation
Colloidal solids are solid particles suspended in solution. They are usually negatively charged, attracting a compact primary layer of positively charged ions, which attract more counterions to form an electrical double layer. Electrostatic repulsion between the charged double layers prevents the particles from colliding, stabilizing the colloids. These solids are often undesirable because they can contain toxins that are difficult to remove. Coagulation is a technique that helps aggregate and...