在柔性聚合物基板上接种的聚合物链的微型和纳米模式的制备
Hans-Peter Brack1, Celestino Padeste, Michal Slaski
1Electrochemistry Laboratory, Paul Scherrer Institut, CH-5232 Villigen PSI, Switzerland. hans-peter.brack@hispeed.ch
Journal of the American Chemical Society
|January 30, 2004
概括
一种新的方法结合了辐射接种和"接种"技术,在柔性基板上创建微型和纳米级聚合物图案. 这种方法为先进的聚合物光刻应用提供了高分辨率.
科学领域:
- 聚合物化学 聚合物化学
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 在灵活的基板上创建精确的聚合物链的微和纳米尺度模式对于先进的材料应用至关重要.
- 现有的基于聚合物的光刻技术在分辨率和对移植结构的控制方面面临挑战.
研究的目的:
- 开发一种简单而新的方法,用于制备在柔性聚合物基板上接种的聚合物链的微和纳米尺度图案.
- 证明新方法能够实现高分辨率图案的能力.
主要方法:
- 采用了混合方法,结合了辐射移植和"移植"技术.
- 用电子束或X射线辐射模式来定义横向尺寸.
- 移植反应条件 (剂量,时间,温度,单体度) 被控制以调整特征高度.
主要成果:
- 在柔性基板上成功制备了微型和纳米尺度的接聚合物链的图案.
- 通过辐射模式定义的侧面尺寸的证明控制.
- 通过辐射剂量和反应条件来控制所达到的特征高度.
- 纳米图案样本显示的分辨率与现有的基于聚合物的光刻工艺相美.
结论:
- 这种新的组合接种方法为创建定义良好的聚合物纳米结构提供了一个多功能平台.
- 该技术为高分辨率聚合物基石版画提供了一个有前途的替代方案.
- 该方法允许精确控制侧面尺寸和特征高度.
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