大规模制造晶圆大小的合晶体,宏的聚合物和纳米复合材料的旋转涂层
Peng Jiang1, Michael J McFarland
1Corning Science and Technology, Corning Incorporated, Corning, New York 14831, USA. pjiang@princeton.edu
Journal of the American Chemical Society
|October 21, 2004
概括
研究人员开发了一种简单的旋转涂层方法,以创建晶圆尺度的合晶体,宏聚合物和纳米复合材料. 这种技术可以精确控制材料厚度和结构,用于先进的应用.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 聚合物化学 聚合物化学
背景情况:
- 在晶圆尺度上制造订单材料具有挑战性.
- 现有的方法往往缺乏对结构和统一性的控制.
- 先进的材料需要可扩展和具有成本效益的生产技术.
研究的目的:
- 报告一种简单的旋转涂层技术,用于制造晶圆尺度的合体晶体,巨孔聚合物和聚合物纳米复合材料.
- 用剪切诱导排序来证明对材料厚度和结构的控制.
- 探索这种方法在设备应用中的潜力.
主要方法:
- 在三烯酸单体中对单分散的二氧化聚合物进行螺旋涂层.
- 剪切诱导的排序和聚合形成3D有序结构.
- 选择性去除组件以产生所需的材料.
主要成果:
- 成功制造了晶圆尺度的合晶体,巨孔聚合物和具有高晶体质量的纳米复合材料.
- 通过旋转速度和时间控制可实现的均厚度.
- 在传输光谱中展示了布拉格衍射峰值,证实了3D顺序.
- 工艺兼容性与半导体微型制造用于图案结构.
结论:
- 螺旋涂层技术提供了一条快速可扩展的途径,以获得高质量的订购材料.
- 这种方法促进了对剪切诱导结晶和相关现象的基础研究.
- 制造的材料具有各种设备应用的潜力.
