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Alain C Diebold1

  • 1SEMATECH, Austin, TX 78741, USA. .diebold@sematech.org

Science (New York, N.Y.)
|October 8, 2005
PubMed
概括

新的声学扫描全息成像实现了前所未有的空间分辨率,用于成像集成电路和生物细胞中的缺陷和空隙.