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Updated: Jul 19, 2026

08:31
Three-dimensional Optical-resolution Photoacoustic Microscopy
Published on: May 3, 2011
应用物理. 应用物理. 地下成像与扫描超声波全息成像进行成像
1SEMATECH, Austin, TX 78741, USA. .diebold@sematech.org
概括
新的声学扫描全息成像实现了前所未有的空间分辨率,用于成像集成电路和生物细胞中的缺陷和空隙.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面成像 - 表面成像
- 声学显微镜的使用
背景情况:
- 下一代集成电路需要更高分辨率的表面成像技术.
- 现有的方法在捕捉基层结构特征,如缺陷和空隙等方面面临挑战.

