提高半导体设备的性能,使用有序的剂阵列.
Takahiro Shinada1, Shintaro Okamoto, Takahiro Kobayashi
1Consolidated Research Institute for Advanced Science and Medical Care (ASMeW), Waseda University, 513 Wasedatsurumaki-cho, Shinjuku-ku, Tokyo 162-0041, Japan. shina@waseda.jp
Nature
|October 21, 2005
概括
精确控制半导体设备中剂原子的放置,可以显著降低性能差异. 订制剂阵列提高了晶体管门电压稳定性,并为量子计算应用提供了潜力.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 量子计算是一种量子计算.
背景情况:
- 随着设备尺寸的缩小,半导体设备的性能越来越受到多原子随机分布的限制.
- 对于下一代电子产品来说,在兴奋剂分配中实现均性至关重要.
研究的目的:
- 制造具有精确控制的剂原子数和位置的半导体设备.
- 与随机兴奋剂相比,研究有序兴奋剂阵列对设备性能的影响.
主要方法:
- 使用单离子植入技术进行一个接一个的多离子植入.
- 制造了带有受控剂阵列的晶体管,并测量了它们的电特性.
主要成果:
- 带有有序剂阵列的设备在值电压 (Vth) 中显示出明显较少的设备对设备的波动.
- 与随机兴奋剂 (-0.2 V) 相比,有序兴奋剂阵列导致Vth (-0.4 V) 的变化更大.
- 由于有序的辅助剂,观察到导电通道的静电电位均度有所改善.
结论:
- 原子尺度控制的兴奋剂过程导致提高半导体设备的性能.
- 订购的剂阵列显示出对推进基于的固态量子计算机的前景.


