轻印光刻 lithography:微接触式印刷没有油墨
Kyung S Park1, Eun K Seo, Young R Do
1Department of Chemistry, Kookmin University,Chongnung-dong, Songbuk-ku, Seoul 136-702, Korea.
Journal of the American Chemical Society
|January 19, 2006
概括
一种新的光印光刻法 (LSL) 方法使用紫外线将聚二甲基 (PDMS) 印章粘合到基板上. 这种技术可以为材料科学中的各种应用提供精确的,自动化的图案.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面化学 表面化学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 图案技术对于制造微/纳米尺度设备至关重要.
- 现有的方法往往涉及复杂的过程或专门的设备.
- 开发可适应和高效的模式方法是一个持续的挑战.
研究的目的:
- 引入一种新的,UV诱导的图案制造方法,称为光印光刻 (LSL).
- 为了证明LSL在各种基板上创建聚二甲基 (PDMS) 图案的多功能性.
- 为了展示LSL在随后的制造步骤中的实用性,例如薄膜沉积和蚀刻.
主要方法:
- 光印光刻法 (LSL) 使用紫外线 (254纳米) 光来诱导PDMS印和基板之间的表面粘合.
- 通过UV诱导的粘附,PDMS印章的表面图案直接转移到基板上.
- 该方法与用于可扩展模式生成的自动打印机兼容.
主要成果:
- 使用LSL在多个基板上成功制造了多种PDMS模式.
- 已证明的特征尺寸范围跨越微/纳米尺度.
- 通过原子层沉积,选择性TiO2薄膜沉积的模板有效地使用了LSL图案的基板.
- 此外,LSL图案也可以作为选择性湿蚀刻工艺的有效抵抗剂.
结论:
- 光印光刻法 (LSL) 为微/纳米尺度的图案设计提供了一种多功能和高效的方法.
- 紫外线诱导的粘附机制提供了一种强大的方式,可以将图案传输到各种基板上.
- 液压制造是一个有前途的技术,用于自动化制造和集成到先进的制造工作流程.
