Martin Hÿtch1, Florent Houdellier, Florian Hüe

  • 1CEMES-CNRS, nMat Group, 29 rue Jeanne Marvig, 31055 Toulouse, France. hytch@cemes.fr

Nature
|June 20, 2008
PubMed
概括

我们开发了一种新的纳米级应变测量技术,结合莫雷方法和离轴电子全息. 这种方法为微观视野提供了高精度和空间分辨率,这对于先进的半导体设备至关重要.