来自具有横向顺序的块共聚合物的宏观10特拉比特/平方英寸阵列
Soojin Park1, Dong Hyun Lee, Ji Xu
1Department of Polymer Science and Engineering, University of Massachusetts, Amherst, MA 01003, USA.
Science (New York, N.Y.)
|February 21, 2009
概括
研究人员通过在蓝宝石晶片上使用块共聚合物自组装创建了超密度,订购的纳米阵列. 这一突破有望彻底改变微电子和数据存储,带来前所未有的数据密度.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 微电子和存储行业需要先进的方法来创建高度有序的,密集的纳米结构.
- 现有的技术在实现宏观,有序的纳米元素阵列方面面临着挑战.
研究的目的:
- 开发一种方法来产生横向排序的,超密度的,纳米元素的宏观阵列.
- 为了利用高密度应用的基板地形指导的块共聚合物的自组装.
主要方法:
- 使用商业蓝宝石晶片的面面表面,具有牙地形.
- 引导了块共聚合物微域的自我组装,以形成面向阵列.
- 在大型晶圆表面上实现了准远程晶体秩序.
主要成果:
- 产生了有序的3纳米直径的圆柱形微域阵列.
- 实现的面积密度超过每平方英寸10特拉比特.
- 证明了对表面缺陷的耐受性,以及在整个表面上保持横向排序和格子方向.
结论:
- 开发的方法提供了一条通往超高密度系统的多功能路线.
- 该方法是并行的,适用于各种基板和块共聚合物.
- 这种技术有望彻底改变微电子和存储行业.
