化学溶液沉积表性碳化物薄膜的化学沉积
Guifu Zou1, Haiyan Wang, Nathan Mara
1Los Alamos National Laboratory, Los Alamos, New Mexico 87545, USA. gfzou@lanl.gov
Journal of the American Chemical Society
|February 9, 2010
概括
一种新的经济高效的化学溶液方法使得碳化物薄膜的生长成为可能,包括碳化物 (TiC),碳化物 (VC) 和碳化物 (TaC). 这些膜具有与传统蒸汽沉积技术产生的相似的特性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜沉积的情况
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 碳化薄膜具有独特的特性,对技术应用有价值.
- 现有的碳化物薄膜蒸汽沉积方法可能是复杂和昂贵的.
- 需要更简单,更容易获得的方法来生产高质量的碳化物薄膜.
研究的目的:
- 开发一种具有成本效益和多功能性的化学溶液沉积方法,用于生长表轴性碳化物薄膜.
- 为了证明聚合物辅助沉积用于碳化物薄膜生长的可行性.
- 为了比较化学沉积的碳化物薄膜的特性与蒸汽沉积的特性.
主要方法:
- 使用化学溶液沉积方法.
- 采用了聚合物辅助沉积技术.
- 增长了碳化物 (TiC),碳化物 (VC) 和碳化物 (TaC) 的表轴膜.
主要成果:
- 通过使用开发的化学溶液方法,成功地生长了表轴性碳化物薄膜.
- 在新的薄膜中获得了类似于通过蒸汽沉积培养的结构和物理特性.
- 证明了新的沉积技术的成本效益和简单性.
结论:
- 报告的化学溶液或聚合物辅助沉积是一种多功能和简单的技术,用于生产表轴性碳化物薄膜.
- 这种方法为需要高质量的碳化物薄膜的应用提供了传统蒸汽沉积的经济有效的替代方案.
- 能够生长表层TiC,VC和TaC膜的能力为技术进步开辟了新的途径.
