使用塑蚀刻的印章进行纳米转移印刷,并通过现场沉积的聚合物进行介导
Deepak Bhandari1, Ivan I Kravchenko, Nickolay V Lavrik
1Department of Chemistry, University of Tennessee, Knoxville, Tennessee 37996, USA.
Journal of the American Chemical Society
|April 30, 2011
概括
一种新方法使用八氧化 (OFCB) 聚合物薄膜进行高效的纳米尺度转印 (nTP). 这种技术实现了亚-100纳米的特征分辨率,使得先进的纳米制造能够使用类似于Teflon的聚合物印.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 聚合物化学 聚合物化学
背景情况:
- 纳米转印 (nTP) 对于制造先进的微电子和光子设备至关重要.
- 在nTP中,开发具有出色粘附性和合规覆盖的高分辨率印章仍然是一个挑战.
研究的目的:
- 引入一种简单而高效的方法,使用一种新的聚合物薄膜进行纳米级转印.
- 为了证明这种方法在实现100nm以下特征分辨率方面的能力.
主要方法:
- 八环丁 (OFCB) 的等离子体聚合,在3D无机印章上制造薄聚合物薄膜.
- 利用在现场沉积的OFCB聚合物的低表面能量用于纳米复合材料邮票制造.
- 应用纳米复合材料印章用于各种测试结构的纳米尺度转印.
主要成果:
- 该OFCB聚合物薄膜强烈粘附,并符合覆盖3D无机印记.
- 开发的纳米复合材料盖章能够实现高效的nTP,并提高功能分辨率.
- 证明了测试结构的制造,其特征分辨率低至100nm以下.
结论:
- OFCB聚合物薄膜为高分辨率纳米尺度转印提供了有效的解决方案.
- 这种方法提供了一种简单而强大的方法,以提高精度制造纳米尺寸特征.
- 开发的纳米复合材料印章技术对先进的纳米制造应用具有重大潜力.
