在室温下,纳米晶体碳化在Si(111) 上的Epitaxy在室温下

Roberto Verucchi1, Lucrezia Aversa, Marco V Nardi

  • 1Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo, IMEM-CNR, Sezione FBK di Trento, 38123 Trento, Italy. roberto.verucchi@cnr.it

概括

研究人员在室温下使用超声波波束实现了碳化 (SiC) 合成. 这一突破使SiC沉积在温度敏感材料上成为可能.

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