石墨烯的碎片蚀刻 石墨烯的碎片蚀刻
Dechao Geng1, Bin Wu, Yunlong Guo
1Beijing National Laboratory for Molecular Sciences, Institute of Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, P. R. China.
Journal of the American Chemical Society
|April 17, 2013
概括
石墨烯蚀刻可以创建复杂的碎形图案,而不仅仅是简单的六角形. 这种由气流控制的新型碎形蚀刻模式,为材料加工提供了新的见解.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面化学 表面化学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 晶体材料的异型蚀刻通常会产生简单的几何图案.
- 石墨烯蚀刻以前遵循了这个原则,形成六角形孔,曲的边缘.
研究的目的:
- 为了调查在石墨烯中标准的异构蚀刻的偏差.
- 为了证明在石墨烯蚀刻过程中实现复杂的碎形图案的可能性.
主要方法:
- 使用液体铜表面上生长的石墨烯薄膜作为模型系统.
- 调节Ar/H2气体流速比,以控制蚀刻行为.
主要成果:
- 观察到从六边形转变为六重对称的复杂碎形图案.
- 通过重复构建一个基本动机,确定了碎形图案的形成.
- 与扩散控制的蚀刻过程相关的图案形成.
结论:
- 石墨烯蚀刻可以表现出复杂的碎形模式,偏离简单的异构态行为.
- 分形蚀刻模式可以通过气体流量比控制,并由扩散控制.
- 这一发现为材料蚀刻和图案形成的基础研究开辟了新的途径.
