Johannes D Bartl1,2, Christopher Thomas2, Alex Henning1

  • 1Walter Schottky Institute and Physics Department, Technische Universität München, Am Coulombwall 4, 85748 Garching bei München, Germany.

概括

我们开发了一种模块化表面组装 (MSA) 方法, 这种技术结合了原子层沉积 (ALD) 和酸以实现先进的材料功能化.