人与机器的合作,以改善半导体工艺的发展

Keren J Kanarik1, Wojciech T Osowiecki1, Yu Joe Lu1

  • 1Lam Research Corporation, Fremont, CA, USA.

Nature
|March 8, 2023
PubMed
概括

人工智能和人类工程师可以共同开发更实惠的半导体芯片工艺. 结合人类的专业知识和人工智能算法,