来自压力晶体InGaP的高Q床共振器用于集成的自由空间光学机械
Sushanth Kini Manjeshwar1, Anastasiia Ciers1, Fia Hellman1
1Department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology, SE-412 96 Gothenburg, Sweden.
Nano letters
|May 26, 2023
概括
研究人员使用抗拉力InGaP开发了新的纳米机械共振器,实现了超低的机械散射. 这些设备非常适合光学机械,具有高的机械质量因素和高效的光传导.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 视觉机械学 视觉机械学
背景情况:
- 在先进的应用中,纳米机械共振器需要超低散射.
- 抗拉力材料为高性能共振器提供了潜力.
- 经轴生长使人能够融入复杂的异构结构.
研究的目的:
- 为了展示使用拉伸应力InGaP.P.的纳米机械弦和床共振器.
- 描述这些共振器的机械性能和性能.
- 探索它们对单体自由空间光机械设备的潜力.
主要方法:
- 在AlGaAs异构结构上InGaP的表轴生长.
- 制造纳米机械弦和床共振器.
- 机械性能的表征,包括应力,收益强度和质量因子.
- 光子晶体图案为增强的光学反射性.
主要成果:
- 从抗拉应力InGaP.P.中演示了纳米机械共振器.
- 在室温下达到超过10^7的机械质量系数.
- 使用床共振器达到高达7 × 10^11 Hz的Q·f产物.
- 随着时间的推移,观察到内在质量因素的退化.
结论:
- 抗拉力InGaP是高性能纳米机械共振器的一个有希望的材料.
- 带有光子晶体的床共振器可以实现高效的光机械传导.
- 需要进一步的研究来解决观察到的机械质量因子的退化问题.
