在蓝宝石基板上薄膜的结构分析,用于AlN的长轴生长
Jihong Kim1, Youngil Kim2,3, Sung-Min Hong3
1Department of Electrical Engineering, Yeungnam University, Gyeongsan 38541, Republic of Korea.
Micromachines
|May 27, 2023
概括
化 (AlN) 薄膜在 (Mo) 电极上的表轴生长在蓝宝石基板上得到了实现. 高排序的Mo薄膜充当模板,使微电子机械系统的可控晶体学定向成为可能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 晶体学 晶体学是指结晶学.
背景情况:
- 在 (Mo) 电极上的化 (AlN) 薄膜对于微电机械系统 (MEMS) 至关重要.
- 在Mo电极上获得高晶度,向c轴定向的AlN薄膜存在重大挑战.
- 了解Mo薄膜的结构性质是实现表层AlN生长的关键.
研究的目的:
- 为了证明AlN薄膜在Mo电极/蓝宝石 (0001) 基板上的表轴生长.
- 为了研究影响AlN表轴生长的薄膜的结构特征.
- 为了建立AlN,Mo和蓝宝石之间的方向关系.
主要方法:
- 在Mo/蓝宝石基板上AlN薄膜的表面增长.
- 使用X射线衍射的Mo薄膜的结构特征.
- 分析晶体学方向和域结构.
主要成果:
- 在长在蓝宝石上的Mo薄膜中观察到两个晶体方向 (110) 和 (111).
- 确定了主要的单域 (111) 导向的Mo晶体.
- 倒退式 (110) 导向的Mo晶体呈现出三个在平面内旋转120°的域.
结论:
- 在蓝宝石上高度订购的Mo薄膜作为表层AlN生长的模板.
- 蓝宝石的晶体信息通过Mo模板转移到AlN膜中.
- 对AlN/Mo/蓝宝石结构成功定义了精确的外平面和内平面方向关系.
