在PDSOI设备中,在恒压压力下对SILC降解的研究

Yong Lu1, Hongxia Liu1

  • 1Key Laboratory for Wide Band Gap Semiconductor Materials and Devices, School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China.

Micromachines
|May 27, 2023
PubMed
概括

在部分耗尽的在绝缘体 (PDSOI) 装置中,压力诱导的泄漏电流 (SILC) 降解随着通道长度的缩短而恶化,并因浮体效应而加剧. 门电压和SILC降解都遵循应力时间的功率函数.