Xiang Wu1,2,3, Bin Fan1,2,3, Qiang Xin1,2,3

  • 1National Key Laboratory of Optical Field Manipulation Science and Technology, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.

Polymers
|May 27, 2023
PubMed
概括

研究人员为反应性离子蚀刻 (RIE) 引入了额外的电极,以提高聚胺 (PI) 膜加工的均性. 这种新的方法调节了等离子体外的特性,使得可以精确控制蚀刻速率的分布,以提高光学元件的制造.