通过4D-STEM对子微米样本进行强大的局部厚度估计
Radim Skoupý1,2,3,4, Daan B Boltje4, Miroslav Slouf5
1Institute of Scientific Instruments, Czech Academy of Sciences, Brno, 61264, CZ.
Small methods
|May 30, 2023
概括
一种新的定量四维扫描传输电子显微镜 (4D-STEM) 技术准确地估计了无形标本的厚度. 这种方法利用电子散射模式,为聚焦离子束磨砂的片提供了可靠的测量,这对于冷TEM分析至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电子显微镜电子显微镜
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 对无形标本的精确厚度测量对于传输电子显微镜 (TEM) 分析至关重要,特别是对聚焦离子束 (FIB) 磨砂的片.
- 现有的方法可能需要对信号强度进行校准,或者不适合在现场监测.
研究的目的:
- 提出一个定量四维扫描传输电子显微镜 (4D-STEM) 成像技术 (q4STEM) 用于局部厚度估计.
- 为了证明q4STEM方法对无形标本的稳定性和适用性.
主要方法:
- 利用空间分辨的衍射模式来测量电子散射的角分布.
- 使用蒙特卡洛模拟量化评估的散射数据.
- 集成虚拟黑暗和明亮场STEM信号的使用比例.
主要成果:
- q4STEM方法为亚微米无形标本提供了可靠的厚度估计.
- 该技术独立于信号强度校准,只需要检测器几何知识.
- 通过直接检测和光转换2D-STEM探测器证明了成功的应用.
结论:
- q4STEM技术为无形材料的厚度估计提供了一种简单且低剂量的方法.
- 预期的应用包括在光束敏感材料的片制造过程中的现场厚度监测.
- 这种方法提高了FIB准备的样本TEM分析的可靠性.


