作为高效的负色调EUV光电阻体的新型六米锡碳酸盐集群:高分辨率,在低能量剂量下具有明确的图案
Jia-Rong Wu1, Ting-An Lin1, Yan-Ru Wu1
1Frontier Research Center for Matter Science and Technology, Department of Chemistry, National Tsing-Hua University Hsinchu Taiwan 30013 ROC rsliu@mx.nthu.edu.tw.
Nanoscale advances
|June 1, 2023
概括
新型锡碳酸盐集群形成光滑的薄膜,用于先进的EUV光刻. 集群2显示出优越的光敏度,使得高分辨率的图案与减少线宽粗度.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 化学 化学 化学
背景情况:
- 锡碳酸盐集群为薄膜沉积提供了潜力.
- 光滑的薄膜形成对于高分辨率光刻画至关重要.
研究的目的:
- 为了合成和描述用于EUV光刻应用的新碳酸集群.
- 研究这些星团的光敏度和辐射机制.
主要方法:
- 用于结构特征的X射线衍射.
- 薄膜沉积和表面粗度分析 (RMS).
- 用于高分辨率图案 (HP,LWR) 的EUV石版.
- 高分辨率X射线光电子光谱 (HRXPS) 和FTIR用于机械研究.
主要成果:
- 合成了两种具有不规则梯子几何的新锡碳酸盐.
- 片表现出非常光滑的表面 (RMS <0.7 nm).
- 在低剂量下,EUV光刻画实现了15-16nm半场,LWR为4.5-6.0nm.
- 集群2显示出比集群1显著更好的EUV和e-beam光敏度.
- 机械学研究显示了Sn-Cl键裂变和脱碳化,而集群2显示了惰性乙烯-Sn键和基性聚合.
结论:
- 合成的锡碳酸盐集群适用于创建用于EUV光刻的光滑薄膜.
- 集群2,包含激素前体和受体,提供增强的光敏度和性能.
- 了解辐射机制为设计下一代光刻材料提供了洞察力.
