晶圆尺度1T'MoTe2用于快速响应自动供电的宽距离光电探测器
Jiatong Mao1, Youqi Zhang1, Yinuo Zhang1
1Center for Spintronics and Quantum Systems, State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China.
ACS applied materials & interfaces
|June 2, 2023
概括
研究人员开发了一个晶圆尺度的1T.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 凝聚物质物理学 凝聚物质物理学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 基于半金属的光检测器提供高响应速度,低功耗和广泛的光响应.
- 过渡金属二化物 (TMD) 是光电子应用的有前途的材料.
研究的目的:
- 为了合成晶圆尺度的多晶少层1T'-聚二甲化物 (MoTe2).
- 为了制造和描述基于1T'-MoTe2.2.的自动供电光探测器设备.
主要方法:
- 改性化学蒸汽沉积 (CVD) 用于1T'-MoTe2合成.
- 影子面具辅助超高真空 (UHV) 沉积用于设备制造.
- 在宽带和脉冲激光照明下进行光电测量.
主要成果:
- 获得了晶圆尺度,连续的几层1T'-MoTe2薄膜,微米尺度的颗粒.
- 制造了一个Pd-MoTe2-Au光电探测器,表现出自动供电的操作.
- 证明了广泛的光谱响应 (320-1200 nm),具有高的开启/关闭比率 (~10^3),响应能力 (1.2 A/W) 和检测能力 (7.68 × 10^12 斯).
- 观察到的响应时间为几十微秒和极化光响应.
结论:
- 晶圆尺度1T'-MoTe2是高性能光探测器的可行材料.
- 开发的设备显示了在广泛的光谱中实现自动供电,快速和灵敏的光检测的潜力.


