在阴极发光光谱学中对更高阶折射进行校正
Michael Stöger-Pollach1, Keanu Zenz2, Felix Ursin2
1University Service Center for Transmission Electron Microscopy (USTEM), Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstraße 8-10, 1040 Wien, Austria; Institute of Solid State Physics, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstraße 8-10, 1040 Wien, Austria.
Ultramicroscopy
|June 2, 2023
概括
本研究介绍了一种方法来纠正高阶衍射的阴极光发光 (CL) 光谱. 这种技术提高了电子显微镜分析CaO和GaN等材料的光谱精度.
科学领域:
- 电子显微镜的电子显微镜
- 材料科学是一种材料科学.
- 频谱学是一种光谱学.
背景情况:
- 阴极光发射 (CL) 是一种新兴的电子显微镜技术,具有高能分辨率.
- 具有燃烧的Czerny-Turner光谱仪通常用于CL分析.
- 燃烧格提供线性光谱分散,但容易受到更高阶衍射器件的影响.
研究的目的:
- 开发和介绍一种方法来纠正受更高阶衍射影响的CL光谱.
- 为了提高光谱分析在阴极光发显微镜的准确性.
- 为了证明对特定材料样本的校正方法的应用.
主要方法:
- 对光谱数据实施一种新的校正算法.
- 从氧化 (CaO) 和化 (GaN) 样本中获取阴极发光光谱.
- 应用开发的校正方法来分析获得的CL光谱.
主要成果:
- 成功地纠正了CL光谱以获得更高阶衍射强度.
- 对CaO和GaN样品的光谱精度显著改善.
- 验证了开发的校正技术的有效性.
结论:
- 提出的方法有效地纠正了CL光谱中的更高阶衍射.
- 准确的光谱数据对于使用阴极光发光学进行可靠的材料表征至关重要.
- 这种技术增强了CL光谱在电子显微镜中的实用性.


