提高ZrMnFe合金的甲清除效率,通过部分替换Fe以Co来取代Fe
Shumei Chen1,2,3, Miao Du1,2, Shuai Li1,2
1GRINM Group Co., Ltd., National Engineering Research Center of Nonferrous Metals Materials and Products for New Energy, Beijing 100088, China.
Molecules (Basel, Switzerland)
|June 10, 2023
概括
在ZrMnFe合金中的替代显著提高了从中去除甲的速度. 优化的ZrMnFe0.7Co0.3合金有效地净化和,这对于半导体制造至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
- 表面化学 表面化学
背景情况:
- 高纯度的对于化学蒸汽沉积 (CVD) 非常重要.
- 在降解装置性能中的甲杂质.
- 现有的ZrMnFe获取器需要高温 (700°C),并且其甲去除深度不足.
研究的目的:
- 开发一种改进的获取材料,以有效地从中去除甲.
- 研究ZrMnFe合金中 (Co) 替代铁 (Fe) 的效果.
- 为了描述新型合金的甲净化性能.
主要方法:
- 使用悬浮感应融制备合金.
- 通过X射线衍射 (XRD),感应合等离子体 (ICP),扫描电子显微镜 (SEM) 和X射线光电谱 (XPS) 来进行材料特征.
- 使用气相色谱测量甲度.
主要成果:
- 同替代ZrMnFe合金的甲去除效率因含量和温度而异.
- ZrMnFe0.7Co0.3合金将中的甲从10 ppm降至0.215 ppm,温度为500°C.
- 在450°C时,ZrMnFe0.7Co0.3合金在中去除了50ppm的甲到<0.01ppm.
- 替代降低了ZrC形成的能量屏障,并增强了甲分解的催化活性.
结论:
- 在ZrMnFe合金中的替代提供了优越的甲去除能力,与传统的获取器相比.
- 优化的ZrMnFe0.7Co0.3合金在降低温度下对和的净化表现出色.
- 增强的反应性归因于的电子状态及其对ZrC形成的影响.
更多相关视频
10:57Synthesis and Performance Characterizations of Transition Metal Single Atom Catalyst for Electrochemical CO2 Reduction
Published on: April 10, 2018
18.3K
05:52Resource Recycling of Red Soil to Synthesize Fe2O3/FAU-type Zeolite Composite Material for Heavy Metal Removal
Published on: June 2, 2022
2.9K
